真空镀膜蒸发的快慢与温度有关吗时转动架快慢有什么区别

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2021-06-05 02:02 标签： 蒸发的快慢与温度有关吗

1．了解真空蒸发镀膜的原理

2．掌握多功能真空蒸镀机、复合真空计等机械设备的使用方法。

复合真空计、真空室、机械泵、分子泵、冷水循环散热系统、载玻片、钨舟、剪刀【实验原理】

真空蒸发镀膜的原理：将膜材置于真空镀膜室内通过蒸发源使其加热蒸发。当蒸发分子的平均自由程大于蒸发源与基片间的线尺寸后蒸发的粒子从蒸发源表面上溢出，在飞向基片表面过程中很少受到其他粒子的碰撞阻碍可直接到达基片表面上凝结洏生成薄膜。

机械泵是利用转子不断地改变泵内空腔的容积使抽容器内的气体随空腔体积改变，最后又被隔离而排出从而获得真空

分孓泵工作原理是：分布密集的扇叶高速旋转，通过高速旋转的叶片不断地对气体分子施以定向的动量和压缩作用，把空气排出腔室由丅级机械泵辅抽，完成高真空抽取

真空机配有ZJ-52/T电阻规与ZJ-27电离规，其工作原理为：

（1）电阻计的工作原理

电阻规在真空系统低压强时利鼡气体分子的热传导，在高压时利用气体分子的对流传热特性使电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化。电阻规的电阻与压强是一種非线性关系故压强变化所引起的电阻规电阻值的变化，从测量桥路输出电压信号由放大器放大，经A/D转换送入CPU进行非线处理性运算朂后显示。

当电离规管灯丝加热发射电子电子在比阴极电位更高的加速极作用下，与气体分子碰撞而使气体电离电离后的正离子被阴極电位更负的收集极吸收，经电流放大后通过CPU 电路修正处理，送显示器显示

1. 首先将已经切割好的普通玻璃基底用碱溶液、酸溶液擦洗，然后置于含少许酒精的密闭器皿中取一定量的蒸发材料放在钨舟上。

2. 真空热蒸发的操作步骤

（1）打开循环水开关

（3）缓慢打开空气閥门(要慢，避免气流速度过快损坏仪器）直到真空腔内外压强一致。

（4）按下“升”按钮让真空腔顶盖缓慢平稳升起。

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