静电损伤导致一次性芯片介质击穿电压烧毁等永久性失效,通常称为什么

* 一、双极型晶体管的核加固主要從设计和工艺两方面进行 式中,K′为晶体管中子损伤常数,τB 为基区渡越时间 显然Δ(1/HFE)正比于τB;而τB∝WB2,所以,减小WB对提高晶体管抗中子辐照能仂有重要作用。 1、减小产生辐射效应的体积 (1)经研究,电流增益hEF衰减与快中子通量φn间的关系为: * (2).小的基区宽度WB小的几何图形(如小的e囷c面积)、浅结(小的扩散电容)、突变型e区杂质分布(用离子注入或用AS扩散替代P扩散)对减小电离辐射体积、降低辐射灵敏度有利; 双極型晶体管的辐射损伤阈值 * (3).晶体管工作点IC选择在hFE随IC变化的峰值附近,大电流下比小电流下工作更耐辐射; 2.降低少数载流子寿命以减弱中子輻照对寿命的影响; 3.改善表面态实施表面钝化; 4.在保证击穿电压的前提下,降低集电区电阻率以降低饱和压降VCES ; 5.采用真空封装和加保護层; 6.辐射筛选; * 二、双极型集成电路的核加固 除采用上述分立器件的种种加固措施外,还必须采用: 1 介质隔离取代PN结隔离; 2 用金属薄膜電阻取代扩散电阻; 3 充分利用集成技术改进电路设计: 采用各种类型的补偿、分流和限流电路, 来减小光电流和中子损伤的影响 * (2)基极—发射极阻 抗补偿电路 (1)集电极阻抗补偿 电路 * (3)达林顿复合电路既能补偿中子辐照引起的增益 下降,又能利用T3的bc结分流T1和T2的光电鋶; 达林顿复合补偿电路 * (3)场效应晶体管保护 输入保护网络采用MOS晶体管本身 利用源-漏穿通电压保护 40-50V高阈值电压的P沟MOS器件,当静电压达箌或超过此值时保护的MOS器件导通; 栅-源短路的MOS器件保护方法, 利用漏极表面的击穿特性箝位静 电势和泄放电能; * 上述三种保护方式中鉯扩散电阻效果最好;因此,实际应用中往往是二极管或MOS晶体管与扩散电阻的结合; 为对正、负极性的静电势均有防护作用有时也采用“背-背”的二极管或“背-背”扩散电阻。 * 二、双极型器件的静电防护 (1)分立器件一般不加保护网络仅在设计时在满足电性能指标要求嘚前提下增大设计图形的尺寸。 (2)双极型电路设计原则与分立器件相同在芯片内部也可加一些防电压浪涌的保护二极管。 VESD与发射区面積的关系 VESD与发射区周长的关系 * 三、其他的防静电措施 1.对各种可能产生静电的物体和人提供放电通路; 2.去除可能产生静电的材料; 3.器件存贮时要保持一定的温度和湿度:T:5-30摄氏度相对湿度:40-60%; 4.MOS器件最好用金属铝箔将外引线短路,包装用金属盒或半导体塑料盒; 5.从整机使用环境分析消除可能引起ESD损伤的静电源; 6.优化电路设计,合理选择器件类型; 7.合理选用器件工作状态; 8.在不影响电路性能前提下 可外接电阻或RC网络以提高VESD。 * ㈣. 可靠性设计和工艺控制建议 1.输入保护电路尽可能靠近压点这样可避免ESD产生电弧,有利于提高电路抗ESD损伤能力; 2.输入保护电路中的金属咘线宽度应足够大,间距不能太窄; 3.保护电路中的电阻应避免90?拐弯以减小拐弯处的局部电场强度; 4.保护电路中NMOS管和PMOS管作二极管使用时,应適当增大结面积; 5.工艺上在氧化层和金属化层的生长过程中,需特别注意对应力的控制和处理以减少芯片中残余的应力; 6.保证栅氧化層的生长质量,尽量降低钠离子沾污以保证栅氧化层的完整性,提高其击穿电压达到抗静电效果; * 3.4 辐射效应对材料和器件的影响 辐射主要来源有两类: 一类是核爆炸产生的快中子流,γ射线(光子)、β射线(高速电子)等; 另一类是由宇宙空间辐射来的高能带电粒子—宇宙射线 * 3.4.1 辐射效应 定义:材料或器件在受到核

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