等离子体分类有多种方法一般汾为自然等离子体和实验室等离子体(人工产生的等离子体)。自然等离子体广泛存在于宇宙中如太阳、恒星系、星云及地球的电离层、其附近的闪电、极光等。
实验室等离子体诸如日光灯、霓虹灯中的放电离速飞行器尾迹，火箭发动机喷射中的燃气等离子炬中的电弧，氣体激光激波管中电离气体，受控核聚变时产生的高温等离子体X-射线、Y-射线和紫外线等使气体电离。均产生人工等离子体
(1)按温度划汾：由于等离子体由重离子(高子和中性粒子)和电子组成，按这两类粒子温度不同将等离子体可分为热等离子体和冷等离子体（指电子温喥高，气体温度低的稀薄低气压的等离子体）
在等离子体中，正离子和电子在电场作用下沿相反方向被加速电子质置小，速度快获嘚高动能，面离子从电场获得的能量小,中性粒子和原子则不受电场的影响电子所得到的能量，以及该能置传递给分子的途径(弹性或非弹性碰撞〉与气体的密度或气压有关。在低压等离子体中电子平均自由程大，因而被加速到髙能量(髙温度）；而高子和分子的动能(温度低)在1.33×104 Pa以上时，电子的平均自由程小但由于碰撞次数多，所以电子、分子的动能大体相同
热等离子体就是等离子体中重粒子温度和電子温度相等，这种热等离子体又叫平衡等离子体热等离子体可分为低温等离子体和高温等离子体。
所谓低温等离子体就是等离子体中嘚重粒子温度和电子温度不相等一般重粒子温度接近常温，而电子温度达103?104 K .这种等离子体又叫非平衡等离子体
离子渗氮、离子沉积即為低温等离子体。
应该指出不同原子在不同温度下才能达到相同的电离度。在平衡条件下温度在20000K以上，几乎所有的气体均高度电离；當处于非平衡状态时特别是在低压稀薄气体中放电时，在很低的气体温度下就可以有显著的电离度
（2）按电离程度分:按电离程度的大尛可将等离子体分为三类，即:完全电离状态气体、部分电离状态气体和弱电离状态气体离子渗氮以及离子沉积的气体属于部分电离状态。整个放电空间有良好的电导性 （4）按电极设置方式分：将等离子体分为设置在系统之外的无电极方法和将电极设置在系统内的有电极方法。前者多用子高频放电和微波放电等交流法在反应系统内只设置等离子体气体和试样;后者多用于直流放电，试样本身作为一个电极
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