杂质含量(ppm)
二氧化碳(CO2)
包装:采用40L、44L钢瓶充装也可根据客户需要分装到4-10L的气瓶中。
用途:化学气相淀积、晶体生长、等离子干刻、特种混合气等鼡作标准气、平衡气、医疗气、气球电子管潜水服等的充气。