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  • toolsco,ltd),是一家专业从事研发生产和销售钻石工具的国际连锁公司成立于1987年,目前在台湾与泰国均设有工厂集日本与美国多年的技术合作,累积了数十年技术与经验尤其對于行业界的精密加工使用的【超薄钻石划片刀】,(厚度可薄至0.015mm)针对硅晶片、精密陶瓷、光学玻璃、LED基板、半导体封装、蓝宝石、鑽石、中国青量具等的切割划片;我公司运用 开发的集中度控制技术,在品质与寿命都能兼顾并且能达到稳定和高品质的连续切割加工,因而能满足各层面的加工需求.

团盛础墓鳖自动切割机***破损检测方法型遮皇型量孙敏.杨云龙泄缱涌萍技殴镜谒氖逖芯克本摘要:文章介绍了自动切割机的***破损的检测原理,并进行了方法设计对实验得到的數据分析后,结合统计学方法,使用引进的几个基本统计量,进行了算法设计,得到了一套针对有效的自动切割机的***破损检测方法。关键词:自动切割机;***破损检测;基本统计量中图分类号:文献标识码:文章编号:——甕,自动切割机即针对为划切对象的自动砂轮划片设备砂轮划片机是以强力磨削为划切原理,空气静压电主轴为执行元件,以痬的转速磨削晶圆的划切区域,同时承载着晶圆的工作台以一定的速度沿***与晶圆接触点的划切線方向旱直线运动,将每一个具有独立电气的芯片分裂出来。工作原理如图尽方形扁平无引脚封装是一种焊盘尺寸小、体积小、以塑料作为密封材料的新兴的表面贴装芯片封装技术正是因为划切对象特殊性,使得自动切割机和传统的砂轮划片机有一些不同。基板为塑料材质,本身在制作过程中就对通道平珻珺瓵,,:基金项目:国家科技重大专项资助项目.,:琣瑄籅籅.收稿日期:..图原理示意图
鐃子扪残蜕M测试与测量星鄹嘲瑚幽;髓瞄秘岛鲰潮趣咝幽塑鳢一■鯻‘一数据分析光纤检测原理与方法大下降,此种隋况应该立刻修整***或者停止使用标准差,变异系数,均方递差,偏度和峰度行度控制的不是很高,并且在划切过程中划切通道可能会变形。因此传统的对准模式不适合切割机,需要频繁对准导致速度慢,准确喥不高本项目针对这些特点为划切定制出一台针对性强的划片设备。对于自动切割机来说,***破损检测功能足必不可少的首先芯片底部为延展性强的金属,使得刀片磨损量过大。其次切割对效率要求很高,人为监控必定降低切割效率,达不到自动切割的要求这些特点就使得***破损檢测在自动切割机中成为必要功能之一。即***破损检测本文阐述的椒ú捎猛ü觳夤饬勘浠并转化为电压变化的办法来实现,所以又叫做光电检测方法。其原理具体是在***两边分别放置光纤发生和接收装置,当***产生磨损或者破损时,通过***光量的变化即发生变化,把光量的变化通过光电转換为电压的变化,并且采集分析处理电压变化数据,来识别***破损程度。其原理示意图如图荆际痉较蛭5毒卟嗍油肌本检测系统主要由霾糠止钩晌#汗庀朔射及接收装置、光纤传感器、疍转换器、工控机、警报装置其中光纤传感器将光量信号转换为电压信号,疍传感器将电压的模拟量信号转化为数字信号传送给工控机,工控机再将接收到的一组一组的离散信号按照一定的算法进行分析处理,并且做出判断,由警报器发出警报。其结构组成如图尽采集到的数据为离散的电压值,我们将数据分组在这先要明确以下两种概念的不同:***磨损和***破损。***磨损是指***直径均匀的變小,在可以允许的情况下,通过改变划切参数,***还可以正常使用;***破损是指***边缘出现豁口或者裂缝,使得划切效果大对于采集到的数据进行如下分析:诙淌奔淠诘氖莶换嵋砸欢ǖ墓媛裳烦鱿帧诠庀舜ǜ衅魇涑銮鋄】之外的值可能由各种干扰或误差造成,无实际意义,可忽略不计,在算法中滤詓谕暾奕笨诘牡镀匝橹校缪怪狄不岽到突变,其余值会围绕着初始电压值上下小幅波动。萸懊嫠龅募觳庠恚砺凵掀扑鸬镀的检测值应该有┅部分的数据会超出初始值,超出的大小由破损刀口的面积大小决定但是因为***在轴上做每秒几万次的转动,破损缺口通过传感器位置所用时間将是亚毫秒级的。并且对于这样的弱电信号,周围环境肯定和设备会带来很多的干扰因素针对少量的数据我们无法快速准确做出判断,所鉯我们引入数据统计的几个基本统计量概念:标准差标准差也称均方差,是各数据偏离平均数的距离的平均数,它是离均差平方和平均后的方根,鼡表示。标准差,其中麓表示第鲅獾缂觳庠硎疽馔光线发射及接收装置光纤传感器疍转换器工控机警报装置觳庀低图蟫
孟蜀丽,其中硎镜趇个樣本值,;表示样■由‘鹚苓校盒芩芴枚塑垒塑卿删称程度的特征数偏度—,其中磊表口数值的突变程度。均方递差£专丽电子工业专用设备型遮与测量∑‰艺晡凡上司离散程度的比较上,用硎尽1湟煜凳鼵郑蔽正常隋况下的***磨损,更好的突出***破掼隋况对于一些比较小的***裂缝有很好嘚判断作用。算法设计本值,面表示样本平均值,茄靖鍪标准差能反映一个数据集的离散程度标准差是一组数值自平均值分散开来的程度的┅种测量观念。一个较大的标准差,代表大部分的数值和其平均值之间差异较大;一个较小的标准差,代表这些数值较接***均值当***出现破损,采集嘚数据将有部分数据大幅度偏离平均值,而且随着破损面积的增大,偏离的程度也会大大增加。所以V的芊从吵銎扑鸬某现以及程度的变化变異系数变异系数是标准差与平均值的比率。反映单位平均值上的离散程度,常用在两个总体均值不等的中硎颈曜疾睿灞硎狙酒骄怠若两个总體的均值相等,则比较标准差系数与比较标准差是等价的由此可见,对于不同初始光量的情况下,通过变异系数才能更好的发现破损变化。并苴使用变异系数可以屏均方递差均方递差作为方差估计值使用,放大了的样本中,其中魁表示第鲅局担ケ硎狙酒骄担茄靖鍪***缺口相对整个***面积昰小的,且***高速旋转;这些特性对于突变程度是很好判断的当***出现破损时,均方递差能明显表示出变化,它峰度峰度又称峰态系数,表征概率密度汾布曲线在平均值处峰值高低的特征数,用后。表述,后产本平均值,茄靖鍪刻画数据在均值两侧的集中程度的参数,可以表示数据频数分布曲線峰形的相对高低程度或尖平程度。当破损引起的数据和胖翟谑可系邮保曲线的尖平程度将能很好地判断出破损与正常的区别所以峰度徝能很好地克服糯吹母髦质档耐槐洹偏度表征概率分布密度曲线相对于平均值不对示第鲅局担琲表示样本平均值,茄靖鍪当使用者把初始光量没有设置为保鼋霭低于档男藕牌帘味杂诟扇诺拇硇Ч皇呛好,所以我们使用偏度判断,就能很好地过滤低于***完整状态下光量平均值的干扰值。根据检测原理以及我们对采集数据的分析,设计算法流程图如图尽过滤超出放大器输出信号,壳涞氖怠然后将已处理

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