Ag靶用于OLED镀膜是什么吗

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探讨了Mg阴极和Ag阴极的真空蒸镀工藝,Mg蒸镀电流在85A左右时压强开始迅速上升,但Mg原子并未被蒸镀到基底上随着压强值迅速下降至约上升前的压强值2.6×10-3Pa时,Mg原子开始被蒸镀到玻璃基底上,这与Ag等其他金属阴极材料的蒸镀过程有很大不同。研究还发现热处理可以使Mg薄膜更加致密,表面粗糙度降低,附着力增加

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