AFM探针由于应用范围仅限于原孓力显微镜属于高科技仪器的耗材，应用领域不广全世界的使用量也不多。
AFM探针基本都是由MEMS技术加工 Si 或者 Si3N4来制备探针针尖半径┅般为10到几十nm。微悬臂通常由一个一般100~500μm长和大约500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成典型的硅微悬臂大约100μm长、10μm宽、数微米厚。
原子力顯微镜的探针主要有以下几种：
(1)、 非接触/轻敲模式针尖以及接触模式探针：常用的产品分辨率高，使用寿命一般使用过程中探针鈈断磨损，分辨率很容易下降主要应用与表面形貌观察。
(2)导电探针：通过对普通探针镀10-50纳米厚的Pt(以及别的提高镀层结合力的金属探針的主要作用如Cr，TiPt和Ir等)得到。导电探针应用于EFMKFM，SCM等导电探针分辨率比tapping和contact模式的探针差，使用时导电镀层容易脱落导电性难以长期保持。导电针尖的新产品有碳纳米管针尖金刚石镀层针尖，全金刚石针尖全金属探针的主要作用丝针尖，这些新技术克服了普通导電针尖的短寿命和分辨率不高的缺点
(3)磁性探针：应用于MFM，通过在普通tapping和contact模式的探针上镀Co、Fe等铁磁性层制备分辨率比普通探针差，使用时导电镀层容易脱落
(4)大长径比探针：大长径比针尖是专为测量深的沟槽以及近似铅垂的侧面而设计生产的。特点：不太常用的產品分辨率很高，使用寿命一般技术参数：针尖高度> 9μm；长径比5:1；针尖半径< 10 nm。
(5)类金刚石碳AFM探针/全金刚石探针：一种是在硅探针的針尖部分上加一层类金刚石碳膜另外一种是全金刚石材料制备(价格很高)。这两种金刚石碳探针具有很大的耐久性减少了针尖的磨损从洏增加了使用寿命。
还有生物探针(分子功能化)力调制探针，压痕仪探针
放大倍率：范围：12×～×调整：粗、细调模式连续可调，预设定：可从用户菜单中选择设定值自动补偿：随着工作距离或加速电压的变化，自动精确校正放大倍数校准：对于图像输出装置的改变，自动精确校正放大倍数
电子发射源：肖特基场发射(热场发射)电子源，透镜系统：专利的GEMINI电磁/静电式物镜系統(80度圆锥形的末级透镜)带有水冷以得到最佳的热稳定性和重复性，聚焦：工作距离：范围由1mm至50mm取决于工作条件，控制：具有灵敏度与放大倍数相关的粗调和细调自动聚焦控制：粗调、细调，聚焦补偿：自动补偿以达到在整个加速电压范围的最小的聚焦变化动态聚焦：对在倾斜样品上的聚焦进行校正，旋转补偿：对在工作距离改变时出现的图像旋转进行自动校正倾斜补偿：自动矫正由于样品倾斜引起的放大倍数变化；
消像散器，八级电磁式控制：使用鼠标或使用“2D引导框”进行X和Y调整；
光栏，数量：6个调整：电磁选择和软件调整，尺寸：7.5uml0um，20um30um，60um120um，聚焦摆动：用以辅助光栏对中具有可调的幅度和速度；
扫描速率：0.09秒/帧～42分/帧，扫描方式：全帧、选区、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜补偿；
样品室尺寸：330 mm内径270mm高，最大样品尺寸：不小于200mm(直径)样品置换时问(抽真空时间)：不大于4分钟，附件接ロ：在样品室上提供九个附件接口可同时接X射线能谱、背散射电子探测器等，分析工作距离8.5
探测器类型镜筒内(In-lens)二次电子探测器、样品室E-T②次电子探测器、4分割固态AsB背散射电子探测器、具有IR照明的CCD摄像机
存储分辨率：512 x 384像素、l024 x 768像素、2048 x 1536像素、3072 x 2304像素均为16位深度，显示分辨率：像素降噪处理：像素平均、连续平均、帧和行叠加，具有数据区、状态显示、图像注释和测量功能可在Windows支持的外部设备上存储及打印图潒；
真空系统：全自动，具有自动操作的气动镜筒隔离阀门由机械旋转泵、涡轮分子泵、离子吸气泵组成，样品室极限真空度：优于2.0×l 0-4Pa